截面边界,不能被抛圆
孔壁铜层、焊点界面、芯片层位和端子边缘已经接近观察面后,抛光重点转为细纹整理和边界保持。布面、抛光液、载荷和时间都要围绕边界稳定来设置。
孔中心和孔壁铜层
抛光重点 看孔壁铜层、孔口边缘和树脂边界。细纹收掉后要及时检查,避免铜拖尾、孔口圆化和树脂边界发糊。
LAMPLAN 推荐 自动抛光用轻载荷、短时间推进,压力补偿保持接触连续;配合支撑性抛光布和细粒度抛光液,让孔壁边界进入可测量状态。
查看案例焊料和铜界面
抛光重点 看焊料、铜垫和 IMC 层边界。焊料偏软,抛光时间过长或布面不合适,会把焊点边缘抹圆、拖尾。
LAMPLAN 推荐 选用支撑性较好的抛光布,配合细粒度金刚石抛光液逐步收细纹;自动滴液让布面状态更稳定,减少人为补液带来的波动。
查看案例芯片层位、硅片和脆性结构
抛光重点 看硅片、金属层、填料和封装树脂。层位接近后,抛光只做细纹整理和边界显现,不能用长时间抛光继续推进目标。
LAMPLAN 推荐 用自动机轻载荷、短时间抛光,1N 步幅便于细调接触压力;终抛前先确认前道细纹是否已经收敛,再选择最终抛液。
查看案例柔性基材和端子边缘
抛光重点 看端子、镀层和塑胶包覆边界。薄金属边缘、塑胶边界和镶嵌支撑会一起影响最终截面,抛光不能把端子边缘卷曲或抛糊。
LAMPLAN 推荐 前道镶嵌先把边缘托住,抛光阶段用稳定压力和自动滴液维持布面状态;需要局部修整时,再用手动设备短时补抛。
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